레이저 광원을 이용한 3차원 측정기하는 장비 입니다. 빠른 측정 시간으로 진동에 강건하여 In-Line 적용 가능. 높이가 높은 시료도 stitching 기능을 사용하여 측정 가능. Auto Focus 기능 내장 측정 데이터 3D view 및 section profile view, filtering 등 분석 기능 제공합니다.
터치스크린패널(TSP)의 ITO 패턴을 검사하는 장비입니다. 검사기는 PDLC 소자를 사용하여 ITO 패턴의 결함(단락/교차결합)을 영상으로 확인. 라인 스캔 카메라를 사용하여 전수 검사합니다.
레이저를 이용하여 ITO 패턴의 결함 부분을 수리하는 장비입니다. 검사기를 통한 불량률 감소 및 리페어기를 통한 불량품 수리로 제품 생산성을 높일 수 있음.
마스크 스틱의 waveness 측정하는 기기 입니다.