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Precision System

  • 01. XY STAGE
    设备说明

    主要组成部分为(岩)石划线平台,可实现高精度的直线性/平坦度/重复性的精密stage,根据客户和市场的需要进行高精度的设计和制作。

  • 02. 线性马达 Stage
    设备说明

    由线性马达和LM GUIDE组成的具备高精度,高强性的精密设备。

  • 03. Air Bearing Gantry Stage
    设备说明

    作为Air Bearing结构不仅实现高精度,还具备低速度,低噪音,低摩擦的stage。

  • 04. Linear Gantry Stage
    设备说明

    根据客户需求可由各种不同的尺寸来构成产品,适用于高精密以及高速度的检查stage或修复设备的stag。